RTDWAFER测温晶圆

上海浦斯拓电子科技有限公司是一家专业提供和生产半导体高精度温度测量技术方案的公司，本公司的TCWAFER和RTDWAFER均为自主设计、制造和生产，无需假手第三方；基于自主研发的封装技术，

可以将热电偶或RTD阵列无损镶嵌至晶圆内部，从而可以探测晶圆内部2D温度场分布，实现晶圆全域温度的

动态追踪。系统以至高0.1℃级精度（-60℃~+1300℃）实时映射制程的热场分布，同步生成动态温度云图

和趋势分析表，为光刻、蚀刻、薄膜沉积等关键工艺提供毫秒级的温度数据，助力良率的提升和工艺参数的调整优化。

在交货期和价格方面和国内外竞品比较，具有相当的优势。而且交货方式灵活，可以接受OEM和ODM等方式，全程不出现我公司信息，更好保护贵公司的利益。

Wafer尺寸：  2/4/6/8/12或矩形

Wafer材质：硅片/蓝宝石等

测温点数：1~32点

线芯直径：0.1~0.2mm

传感器型号：PT1000: -60~+200℃，精度：±0.05℃

                    PT100:-60~+200℃，精度：±0.1℃

真空过渡方式：柔性真空贯通带/硬质真空贯通器

温度软件：Thermomap专用热图软件，实时显示2D温场分布和温升曲线

分辨率：0.01℃

温度数据存储和读取：具有温度存储和历史数据读取功能